IntelliSuite軟件

器件級

可進行靜態、動態、瞬態和頻域等不同類型下熱、靜電、機械、熱-機-電耦合、流-固耦合分析。

工藝級

結合材料、版圖和工藝流程,創建器件的三維虛擬模型,輸出到TEM模塊進行分析。

系統級

應用于多領域、多尺度的MEMS和納米技術系統級設計工具,是有效進行的CMOS-MEMS的器件、電路綜合設計的優良工具,可以實現MEMS-IC整體設計。與IntelliSuite其它模塊結合,構建具有創造性的系統綜合設計平臺。

建模工具

設計工具有:高級版圖編輯模塊、設計規則檢查工具、三維建模模塊和網格劃分工具。

產品推薦
  • 名稱: SYNPLE系統分析模塊
  • 編號: 3001

SYNPLE

 

 

Domain Synthesis and Simulation

Hierarchical multi-domain design
 
 
 
 
Schematic based design exploration
 
 
 
 
 
3D  Visualize simulation results
 
 
 
 

Schematic to mask

 
 
 
 
 
Schematic to process flow
Band pass filter
Process flow for fabricating the device is automatically derived
from the schematic and technology file information
 
 
 
 
 
Schematic to 3D model
 
 
 
 
Schematic to mesh
 
 
System simulation

A MEMS gyro with Coriolis force feedback

 
 
 
 
 
 

應用于多領域、多尺度的MEMS和納米技術系統級設計工具,是有效進行器件、電路綜合設計的劃時代產品。與IntelliSuite其它模塊結合,可以解決工業界的許多技術難題。

◆ 良好的可拓展性框架,能夠十分便捷地增加新單元;

◆ 靈活的單元定義方式,無需學習新的語言;

◆ 無需花費大量時間計算Jacobian行列式,計算速度明顯優于傳統數值方法;

◆ 預先設有包含模擬、數字、數模混合、機械以及MEMS元件的單元庫。并且還在不斷地更新中;

◆ 創新的SME(系統模型提取)能夠系統地分析MEMS器件動力學特性,提取器件特征參數,能夠將一個大型的FEA模型轉化成一個精確的N自由度能量模型,導入到SYNPLE模塊中進行模擬,最終獲得與全FEA分析一致的結果,而計算速度提高1000倍;

◆ 特別針對MEMS陀螺儀、加速度計等慣性器件開發的mEFM(多重表面網格劃分)算法可高效、精確地分析復雜梳齒結構特性參數,大大提高運算效率;

◆ 基于Jiles-Atherton模型和二次疇轉模型,考慮變化磁場的滯回效應,開發出磁機械耦合和磁壓電耦合的MEMS單元。

下載附件:

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