IntelliSuite軟件

器件級

可進行靜態、動態、瞬態和頻域等不同類型下熱、靜電、機械、熱-機-電耦合、流-固耦合分析。

工藝級

結合材料、版圖和工藝流程,創建器件的三維虛擬模型,輸出到TEM模塊進行分析。

系統級

應用于多領域、多尺度的MEMS和納米技術系統級設計工具,是有效進行的CMOS-MEMS的器件、電路綜合設計的優良工具,可以實現MEMS-IC整體設計。與IntelliSuite其它模塊結合,構建具有創造性的系統綜合設計平臺。

建模工具

設計工具有:高級版圖編輯模塊、設計規則檢查工具、三維建模模塊和網格劃分工具。

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工藝級

結合材料、版圖和工藝流程,創建器件的三維虛擬模型,輸出到TEM模塊進行分析。

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