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IntelliSuite軟件

器件級

可進行靜態、動態、瞬態和頻域等不同類型下熱、靜電、機械、熱-機-電耦合、流-固耦合分析。

工藝級

結合材料、版圖和工藝流程,創建器件的三維虛擬模型,輸出到TEM模塊進行分析。

系統級

應用于多領域、多尺度的MEMS和納米技術系統級設計工具,是有效進行的CMOS-MEMS的器件、電路綜合設計的優良工具,可以實現MEMS-IC整體設計。與IntelliSuite其它模塊結合,構建具有創造性的系統綜合設計平臺。

建模工具

設計工具有:高級版圖編輯模塊、設計規則檢查工具、三維建模模塊和網格劃分工具。

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試用軟件模塊:
* Blueprint高級版圖編輯模塊
  IntelliFab工藝流程編輯器
  FabViewer& FabSim三維工藝模塊
  AnisE濕法蝕刻模塊
  MEMaterial材料數據庫
  3D Builder三維建模模塊
  ThermoElectroMechanical熱-電-機械耦合分析模塊
  ParameterAnalysis參數化分析模塊
  Microfluidic微流體、生物模塊
  EMag Analysis 電磁分析模塊
  SYNPLE系統分析模塊
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